Forbhreathnú táirge
Is trealamh próiseála go hiomlán-fliuch-go hiomlán uathoibríoch é Photoresist Stripping Equipment atá tiomnaithe d’fheidhmchláir photoresist stripping agus ardaithe miotail-as don tionscal leathsheoltóra.
Atá feistithe le soak, stripper agus seomraí tirime glan, cuireann an meaisín i gcrích an sreabhadh oibre iomlán lena n-áirítear tuaslagadh fótairéiseach trí maos ceimiceach, baint miotail agus fótairíoch, sruthlú agus triomú sliseog, a réadaíonn oibriú tirim-i tirim-amach. Tá sé ag luí le hábhair foshraitheanna iolracha ar nós Si, Gloine, Sapphire, GaAs, InP, GaN, SiC, LT agus LN. Is féidir an leacht stripper a athchúrsáil trí chóras scagacháin ilchéime. Sásaíonn cumraíochtaí roghnacha seomra (1-2 Soak, 1-2 Stripper, 1-2 Clean) riachtanais phíolótacha T&F saotharlainne agus olltáirgeacht ardtoirte araon.
Buntáistí
Go hiomlán-Triomaigh-go hiomlán-in Oibríocht Tirim-amach
Aistriú sliseog uathoibríoch agus-próiseas iomlán a chur i gcrích gan idirghabháil láimhe. Críochnaítear na céimeanna díothaithe, glantacháin agus triomú go léir taobh istigh den uirlis chun éilliú tánaisteach wafer a sheachaint.
Feidhmíocht Próisis Iontaofa
Ráta bainte miotail＞99% agus ráta stripping photoresist＞99%. Sroicheann feidhmíocht na gcáithníní Níos lú ná nó cothrom le 20ea@0.2μm chun táirgeacht ard a chinntiú.
Saincheapadh Seomra Solúbtha
Tá seomraí soak, stripper agus glan roghnach ó 1 go 2 shraith. Is féidir cumraíochtaí a chur in oiriúint do -taighde baisceanna beaga agus -línte táirgthe tréchur ard.
Córas Athchúrsála Ceimiceach
Cumasaíonn scagachán ilchéime aisghabháil agus athúsáid leacht stripper. Laghdaíonn sé tomhaltas ceimiceach agus costas oibriúcháin agus baintear amach táirgeadh atá neamhdhíobhálach don chomhshaol.
Feidhmchláir
- Pacáistiú Casta
- Gléasanna MEMS
- Feistí Leathsheoltóra Cumhachta
- Ciorcaid Chomhtháite RF
- Optaic Leathsheoltóra
- Comhpháirteanna Cumarsáide Optúla
- Saotharlanna na hOllscoile agus na hInstitiúide Taighde
Paraiméadair
|
Mír |
Sonraíocht |
|
Múnla |
Sraith AST |
|
Feidhm Próisis |
Stráice Fótaileictreach, Ardaitheoir Miotail-Múchta |
|
Foshraitheanna Tacaithe |
Si, Gloine, Sapphire, GaAs, InP, GaN, SiC, LT, LN |
|
Cumraíocht Seomra |
1-2 Soak, 1-2 Stripper, 1-2 Glan (Roghnach) |
|
Rialú Cáithníní |
Níos lú ná nó cothrom le 20ea@0.2 μm |
|
Ráta Bainte Miotail |
＞99% |
|
Ráta Stripping PR |
＞99% |
|
Toise (3 sheomra) |
2230 × 1980 × 2450 mm (W×D×H) |
|
Toise (6-seomra) |
3040 × 1980 × 2760 mm (W×D×H) |
|
Mód Próiseála |
Uathoibríoch, Triomaigh-i dTriomaigh-amach |
|
Córas Ceimiceach |
Scagachán & athchúrsáil leacht stripper |
CCanna
CCanna
C: Cad iad na cineálacha foshraitheanna is féidir leis an Trealamh Stripping Photoresist a láimhseáil?
A: Tacaíonn sé le Si, Gloine, Sapphire, SiC, GaN, GaAs, InP, LN agus LT. Tabhair do ábhar foshraithe agus méid sliseog le do thoil chun an t-oideas a mheas.
C: Cad is brí le tirim i tirim amach?
A: Lódáiltear sliseoga isteach sa mheaisín i riocht tirim. Críochnaítear sáithiú, baint, glanadh agus triomú nítrigine laistigh den trealamh. Díluchtaítear sliseoga go hiomlán tirim. Gan aon sliseog fliuch a láimhseáil de láimh, rud a laghdaíonn go mór rioscaí éillithe.
C: An féidir an leacht stripper a athúsáid?
A: Tá. Tá Trealamh Stripping Photoresist comhtháite le lúb cúrsaíochta scagacháin ilchéime. Braitheann saol seirbhíse ceimiceach ar thréchur táirgeachta agus ar thiúchan iarmhair miotail. Déanann an córas monatóireacht ar stádas ceimiceach agus cuireann sé i gcuimhne d'oibreoirí go bhfuil gá le hathsholáthar.
C: Cad é an difríocht idir an uirlis ardaitheoir fliuch seo as agus an luaithreoir plasma?
A: Déanann an trealamh seo próiseas ardaitheoir ceimiceach fliuch as. Tá sé deartha chun miotail a ardú agus baintear miotail as feidhm mar aon le photoresist. Is próiseas tirim é luaithreoir plasma den chuid is mó le haghaidh luaithreach photoresist, agus níl sé oiriúnach le haghaidh ardú miotail tiubh.
C: An bhfuil leagan baisc bheag atá dírithe ar shaotharlann ar fáil?
A: Tá. Tacaítear le roghnú seomra solúbtha. Tá cumraíocht dhlúth le 1 soak +1 stripper +1 seomra glan ar fáil chun críocha T&F, agus feidhmíonn leagan il-seomra olltáirgeadh.
C: Cén fheidhmíocht toraidh is féidir linn a bhaint amach?
A: Faoi oidis optamaithe, líon na gcáithníní Níos lú ná nó cothrom le 20ea@0.2μm, tá an ráta bainte miotail agus ráta stripping PR araon os cionn 99%. Bíonn tionchar freisin ag próisis liteagrafaíocht in aghaidh an tsrutha agus sil-leagan miotail ar an toradh iarbhír. Soláthraímid tacaíocht theicniúil le haghaidh tiúnadh próisis.
Clibeanna Te: trealamh photoresist agus miotail stripping, tSín photoresist agus miotail stripping trealamh monaróirí, soláthraithe
