Forbhreathnú táirge
Tá an trealamh plátála sliseog seo saintógtha le haghaidh sliseog leathsheoltóra 12-orlach atá saindeartha do phróisis idirnasctha copair dhamascéine dé, a chlúdaíonn 90nm síos go dtí nóid teicneolaíochta 28nm.
Is capall oibre lán-chomhtháite é, pacáilte leis na comhpháirteanna go léir a theastaíonn uait le haghaidh sreabhadh oibre gan uaim: 3 chalafoirt ualaigh, 4 sheomra leictreaphlátála, 4 seomra glantacháin a bhaint as bevel imeall (EBR), 8 ndlísheomra annealaithe, agus córais pluiméireachta dé neamhspleácha folctha. Níl gá le breiseáin bhreise chun an jab a chur i gcrích.
Faoin gcochall, tá croítheicneolaíochtaí ann a choinníonn carraig chaighdeán plating soladach: meascadh uathoibríoch aigéid, modúil folúis/gáis, agus córais uath-ardaithe anóidí. Agus más mian leat do phróiseas a fheabhsú níos mó fós? Roghnaíonn an fheidhm anailíse réitigh plating (EC1)-foirfe chun barrfheabhsú a dhiailiú agus an táirgeacht a choinneáil comhsheasmhach.
Gnéithe & Ceagair
- 3 calafoirt ualaigh ar a mhéad
- Uasmhéid de 24 seomra plating: Cu, Ni, Sn/Ag, Au
- 4 sheomra réamhfhliucha ar a mhéid, 4 sheomra SRD
- Dearadh cille plating cineál Fountain, gan aon riosca traséilliú
- Dearadh modúl PM, uptime ard-uirlis
- Teicneolaíocht róin, feidhmíocht róin maith
- Teicneolaíocht scaradh catalíte/anailít, cobhsaíocht dea-réitigh
Feidhmchláir
Croíréimse:Aghaidh leathsheoltóra-deireadh déantúsaíochta (déantúsaíocht sliseog).
Próiseas Eochrach:Leictreaphlátála idirnasctha copair damascene le haghaidh sliseog 12-orlach (arna chur i bhfeidhm i nóid teicneolaíochta 90/65/55/40/28nm, ag foirmiú línte seoltaí copair i struchtúir sliseanna).
Paraiméadair
|
Sonraíocht |
Sonraí |
|
Méid Wafer |
12 orlach |
|
Nóid Teicneolaíochta Sprioc |
90/65/55/40/28nm |
|
Próiseas Croí |
Leictreaphlátáil Idirnasctha Copair Damascene Dé |
|
Cumraíocht Trealaimh |
-3 calafoirt luchtaithe |
|
Príomhchórais |
- Córas Measctha Aigéid Uathoibríoch |
|
Gné Roghnach |
Anailís ar réitigh plating EC1 |
|
Réimse Feidhmchláir |
Tosaigh leathsheoltóra-deireadh na déantúsaíochta |
CCanna
Cén méid sliseog a thacaíonn an trealamh seo?
Tá sé deartha go heisiach le haghaidh sliseog leathsheoltóra 12-orlach (300mm).
Cé na nóid teicneolaíochta sliseanna a bhfuil sé ag luí leo?
Tacaíonn sé le próisis idirnasctha copair damascene dé do nóid teicneolaíochta 90/65/55/40/28nm.
Cad iad na próisis lárnacha a láimhseálann sé?
Comhtháthaíonn sé leictreaphlátála copair, baint coirníní imeall (glanadh EBR), agus annealing i gcóras amháin.
An bhfuil bainistíocht réitigh neamhspleách aige?
Tá-feistithe le 2 chóras pluiméireachta folctha ar leith chun cobhsaíocht an tuaslagáin plating a chinntiú.
An féidir monatóireacht a dhéanamh ar chaighdeán réitigh plating?
Tá modúl EC1 um anailís ar réiteach plating roghnach ar fáil chun monatóireacht a dhéanamh ar réitigh fíor-ama.
Cé mhéad sliseog is féidir leis a láimhseáil go héifeachtach?
Le 3 phort ualaigh agus seomraí próisis chomhtháite, tacaíonn sé le sreafaí oibre déantúsaíochta deiridh ard-tosaigh tréchur.
Clibeanna Te: trealamh plating wafer, monaróirí trealamh plating wafer tSín, soláthraithe
