Forbhreathnú táirge
Déantar an Córas Fótairíoch Striapála do bhruscar 6–12-orlach-oiriúnach le haghaidh ardú miotail-as jabanna thar gach cineál réimsí. Tagann sé réidh le socrú 3-seomra (soaking, stripping, glanadh), ach má tá níos mó ag teastáil uait, is féidir linn cuais ilphróisis a shaincheapadh chun do shreabhadh oibre a mheaitseáil.
Cad a fhágann go seasann sé amach? Gnéithe úsáideacha cosúil le téamh NMP (ó theocht an tseomra suas go dtí 90 céim ±2 céim ) agus 30MPa ard-díchóimeáil brú-móide athchúrsáiltear leacht próisis, rud a ghearrann síos ar dhramhaíl. Ní dhearnamar bac ar fheidhmíocht ná ar shábháilteacht ach an oiread: cinntíonn baint ultrasonaic go tapa agus go críochnúil miotail, agus coinníonn an córas múchta dóiteáin uathoibríoch atá tógtha in CO₂ oibríochtaí saor ó imní-.
Buntáistí
Wafer Leathan & Comhoiriúnacht Próisis
Tacaíonn sé le sliseog 6–12{-orlach; oiriúnú do phróisis ardaithe le haghaidh feistí cumhachta, scagairí, MEMS, etc.
Feidhmíocht Stripping Éifeachtach
Comhcheanglaíonn sé rialú teochta NMP, díchóimeáil ardbhrú 30MPa, agus stripping ultrasonaic chun miotail a bhaint go críochnúil.
Optimization Costais & Sábháilteachta
Laghdaíonn athchúrsáil leachta próisis (athúsáid scagtha) costais oibriúcháin; Cinntíonn múchadh dóiteáin uathoibríoch CO₂ oibriú sábháilte.
Cumraíocht Sholúbtha
Socrú caighdeánach seomra 3- + cuais roghnacha ilphróisis, ag teacht le riachtanais táirgthe éagsúla.
Feidhmchláir
Príomhréimsí:Gléasanna cumhachta, scagairí, MEMS (-córais leictrimheicniúla), agus-réimsí eile a bhaineann le leathsheoltóirí.
Próiseas Eochrach:Ardaitheoir miotail-as (ag baint sraitheanna sonracha miotail trí phróiseáil fhliuch) le haghaidh struchtúir ghléis a mhonarú.
Paraiméadair
|
Sonraíocht |
Sonraí |
|
Méid Wafer |
6-12 orlach |
|
Cumraíocht Chaighdeánach |
3 sheomra (maos, stripping, glanadh) |
|
Cumraíocht Roghnach |
cuais próisis iolracha (inoiriúnaithe) |
|
Paraiméadair Téamh NMP |
Teocht an tseomra ~ 90 céim ±2 céim |
|
Ard-Díchumadh Brú |
Uasbhrú: 30MPa |
|
Príomhfheidhmeanna |
- Próiseáil athchúrsáil leachta (athúsáid scagtha) |
|
Córas Sábháilteachta |
Córas uathoibríoch múchta dóiteáin CO2 |
|
Réimsí Feidhmchláir |
Feistí cumhachta, scagairí, MEMS, etc. |
|
Próiseas Croí |
Ardaitheoir miotail-amach (scriosadh fliuch sraitheanna miotail) |
CCanna
Cé na méideanna sliseog a thacaíonn an trealamh seo?
Tá sé ag luí le sliseog 6-12-orlach, a chlúdaíonn formáidí coitianta i bhfeistí cumhachta, MEMS, etc.
Cad é an socrú caighdeánach seomra?
Cuimsíonn an chumraíocht chaighdeánach 3 sheomra: maos, stripping, agus glanadh (tacaíonn cuais ilphróisis insaincheaptha freisin).
Cén raon teochta a thacaíonn an téamh NMP?
Is féidir leis NMP a théamh ó theocht an tseomra suas go dtí 90 céim ± 2 céim, ag oiriúnú do riachtanais éagsúla próiseas stripping.
Cé chomh cumhachtach atá an fheidhm dhíchóimeála ardbhrú?
Sroicheann uasbhrú an dhíchóimeála ardbhrú 30MPa, rud a chinntíonn baint iomlán na n-ábhar iarmharach.
An bhfuil gnéithe coigilte costais aige?
Is féidir-is féidir an leacht próisis a athchúrsáil agus a scagadh le haghaidh athúsáide, rud a laghdóidh costais oibriúcháin.
Cad iad na bearta sábháilteachta atá aige?
Tá sé feistithe le córas uathoibríoch múchta dóiteáin CO₂ chun oibriú sábháilte a chinntiú le linn próiseála.
Clibeanna Te: córas stripping photoresist, monaróirí córas stripping photoresist tSín, soláthraithe
