Forbhreathnú táirge
Tá an glanghlantóir aonair seo tógtha go sonrach le haghaidh obair sliseog leathsheoltóra-clúdaíonn sé gach rud ó fhormáidí 8-orlach go 12-orlach, gan aon eisceacht. Tagann rialuithe próisis beachta i ngach samhail (smaoineamh ar théamh, tiúchan, ráta sreafa) agus cumarsáid SECS/GEM, agus mar sin is mór an ghaoth é a chomhtháthú i bhfabs cliste. Níos fearr fós, tá sé lán-configurable a mheaitseáil cibé riachtanais d'fheidhmchláir.
Seo mar a bhriseann an tsraith:
SWC 100 :
Deartha le sliseog 12{-orlach san áireamh. Tá 8 ndlísheomra ann agus oibríonn sé le 4 FOUP, ag láimhseáil gach próiseas caighdeánach fliuch a bheadh uait ó lá go lá.
SWC 200:
Rogha eile dírithe 12-orlach, ach le seomra treisithe-12 in ionad 8, móide comhoiriúnacht 4 FOUP. Na próisis lárnacha? Díreach mar an gcéanna leis an SC3100, mar sin níl aon chuar foghlama nua.
SEC Plus:
An ceann solúbtha den bhun. Oibríonn sé le sliseog 8-orlach agus 12-orlach araon, agus is féidir leat an comhaireamh seomra a shaincheapadh ó 2 go 8. Foirfe do ghléasanna cumhachta agus socruithe próisis sileacain-bhunaithe.
Buntáistí
◆ Solúbthacht Formáid & Cumraíochta
SWC100 / SWC 200: Tacaíocht sheasta 12-orlach (seomraí 8/12) le haghaidh táirgeadh caighdeánach ard-toirte.
SEC Plus: 8–12-comhoiriúnacht orlach + seomraí inoiriúnaithe, á gcur in oiriúint do shreafaí oibre formáid mheasctha/gléas cumhachta.
◆ Rialú Próiseas Beacht
Gach múnla: Téamh / tiúchan / sreabhadh / rialú brú, chomh maith le ceimiceáin roghnacha (DHF, SC1, etc.) agus soic 3ea le haghaidh próiseála aonfhoirmeach.
SEC Plus: Scaradh breise aigéid/bonn/sceite orgánach + aiséileamh ceimiceach, rud a fheabhsaíonn sábháilteacht agus éifeachtúlacht costais.
◆ Comhoiriúnacht Leathan
SWC100 / SWC 200: Tacaíocht iompróra 4FOUP le haghaidh comhtháthú fab 12-orlach.
SEC Plus: 2–4 Comhoiriúnacht Caiséad Oscailte/SMIF/FOUP, oidhreacht feistiú agus línte táirgeachta nua-aimseartha.
Feidhmchláir
SWC100 / SWC 200 (Wafers 12-orlach)
Próisis lárnacha: glanadh RCA, glanadh GATE, eitseáil/stialladh ocsaíd, baint fhóta-resist.
Úsáidí sonracha: Baint cáithníní/miotail/éillithe orgánaigh, glanadh réamh/postála, glanadh idirnasctha Al/Cu (le haghaidh sliseanna loighic/cuimhne).
SEC Plus (8–12-orlach sliseog)
Gléasanna sprice: gléasanna cumhachta cairbíde sileacain/sileacain, gléasanna próisis atá bunaithe ar shileacan.
Próisis shonracha: Tanú/glanadh ar an gcúl, glanadh tanaí sliseog, eitseáil ardteochta H3PO4, chomh maith le gnáthbhaint éillithe agus glanadh idirnasctha.
Paraiméadair
|
Sonraíocht |
SWC100 |
SWC 200 |
SEC Plus |
|
Méid Wafer |
12 orlach |
12 orlach |
8-12 orlach |
|
Seomraí |
8 ndlísheomra |
12 seomra |
2-8 seomra (inoiriúnaithe) |
|
Comhoiriúnacht Iompróra |
4FOUP |
4FOUP |
2-4 Caiséad Oscailte/SMIF/FOUP |
|
Ceimiceacha Tacaithe |
DHF, SC1, SC2, DIO3, DICO2, IPA, N2 |
DHF, SC1, SC2, DIO3, DICO2, IPA, N2 |
Etchant,SC{0}}Megasonic,DHF,DICO2,N2 |
|
Gnéithe Rialaithe Próisis |
Téamh/tiúchan/sreabhadh/rialú brú |
Téamh/tiúchan/sreabhadh/rialú brú |
Téamh/tiúchan/sreabhadh/rialú brú |
|
Tacaíocht Soláthar Ceimiceach |
N/A |
N/A |
CCSS, LCSS |
|
Bainistíocht sceite |
N/A |
N/A |
sceite ar leith (aigéad/bonn/orgánach) |
|
Gnéithe Breise |
N/A |
N/A |
Athéileamh ceimiceach; cosaint róthéamh folctha; sceitheadh |
|
Prótacal Cumarsáide |
SECS/GEM |
SECS/GEM |
SECS/GEM |
CCanna
Cé na méideanna sliseog a thacaíonn na samhlacha seo?
Ní thacaíonn SWC100 / SWC 200 ach sliseog 12-orlach; tá an SEC Plus solúbtha le haghaidh sliseog 8-12-orlach.
Cad é an difríocht idir SWC100 agus SWC 200?
Roinneann siad na cumais phróisis 12-orlach céanna-tá 8 ndlísheomra ag SC3100, agus leathnaíonn SWC 200 go 12 sheomra le haghaidh tréchur níos airde.
Cén múnla atá oiriúnach do phróiseáil gléas cumhachta?
Tá an SEC Plus optamaithe le haghaidh feistí cumhachta cairbíde sileacain/sileacain (tacaíonn sé le tanú an chúl, eitseáil ardteochta H3PO4).
An féidir leis na córais seo nascadh le MES ár fab?
Sea-tacaíonn na samhlacha go hiomlán le prótacal cumarsáide SECS/GEM maidir le comhtháthú monarchan.
An dtacaíonn an SE Series le gnéithe coigilte costais cheimiceacha?
Sea, cuimsíonn sé feidhmiúlacht athéilimh cheimiceach (athchúrsáiltear ceimiceáin phróisis) agus draenáil rangaithe dramhaíola.
Cé na hiompróirí a n-oibríonn na córais seo leo?
SWC100 / SWC 200 úsáid 4FOUP; tacaíonn an CSS Plus le 2-4 Caiséad Oscailte/SMIF/FOUP (a chuirtear in oiriúint do línte oidhreachta/nua-aimseartha).
Clibeanna Te: glantóir wafer aonair, monaróirí glantóir wafer aonair tSín, soláthraithe
