Priontáil Teilgean
Cosúil le grianghrafadóireacht scannáin, trí bhrú ar an gcnaipe comhla, teilgtear solas ar an scannán tríd an lionsa agus nochtar é. Ina dhiaidh sin, faightear an íomhá tríd an scannán a sáithiú i dtuaslagán forbartha trí "níochán grianghraf". Is í liteagrafaíocht teilgean an teicneolaíocht liteagrafaíocht phríomhshrutha do chiorcaid iomlánaithe mar gheall ar a buntáistí ardéifeachtúlachta agus neamh-millteach.
3a. Priontáil Tionscadal Scanadh
Thosaigh taighde go déanach sna 1970idí agus sna 1980idí. Is é méid an masc agus an patrún sa mheaisín liteagrafaíocht seo ná 1:1, rud a chiallaíonn go bhfuil an méid ar an masc mar an gcéanna le méid an phhatrún ar an photoresist. Is é an fáth a dtugtar scanadh air ná toisc go dtarchuirtear solas trí scoilt chúng ar an tsubstráit, ag nochtadh roinnt línte ag an am céanna de ghnáth. Is gá an tsubstráit a bhogadh chun gach réimse le fuinneamh solais a nochtadh.
Gnéithe: Tá raon nóid próisis idir 180 nm agus 130 nm, cóimheas pláta masc de 1:1, nochtadh méid iomlán.
3b. Stepping ag athdhéanamh priontáil tionscadail (ar a dtugtar Stepper freisin)
Cuireadh tús le taighde ag deireadh na 1980í agus na 1990idí, ag baint úsáide as córas lionsaí chun patrúin a theilgean ó masc go foshraith ceann ar cheann thar limistéar beag. Tar éis gach nochtadh limistéar beag, bogfaidh an tsubstráit go dtí an chéad suíomh eile go dtí go mbeidh an tsubstráit iomlán nochta. Is 'urchar' é limistéar nochta. Toisc go bhfuil sé réamh-mheasta trí chóras lionsa, úsáidtear pláta 5 huaire go ginearálta nuair a úsáidtear solas ultraivialait 365nm, rud a chiallaíonn go bhfuil méid an phhatrún ar an pláta masc 5 huaire níos mó ná an photoresist iarbhír. Mar sin, is féidir patrúin níos casta a dhearadh ar an pláta masc, ach méadaíonn sé an deacracht a bhaineann le déantúsaíocht an chórais priosma.
3c. Priontáil Tionscadal Céim Scanadh (ar a dtugtar Scanóir freisin)
Ó dheireadh na 1990idí, úsáidtear an cineál meaisín seo go ginearálta i ndéantúsaíocht leathsheoltóra deiridh ard le haghaidh próisis le trastomhas Níos lú ná nó cothrom le 0.18 μ m. Le linn an phróisis nochta, bogann an masc i dtreo amháin agus bogann an wafer go sioncrónach i dtreo atá ingearach leis.
Gnéithe: Réimse radhairc méadaithe do gach nochtadh; Cúiteamh a sholáthar do dhromchla míchothrom na sliseog sileacain; Feabhas a chur ar aonfhoirmeacht mhéid an wafer sileacain ar fad. Mar sin féin, mar gheall ar an ngá atá le tairiscint droim ar ais, méadaítear ceanglais bheachtais an chórais mheicniúil. De ghnáth bíonn éifeachtacht táirgthe níos airde ag scanóirí ná meaisíní nochta eile, agus tá a ndearadh agus a ndéantúsaíocht an-chasta. Tá costais cheannaigh agus chothabhála na scanóirí ard freisin.
Litgrafaíocht ardchruinneas dhá thaobh
Úsáidtear go príomha le haghaidh taighde agus táirgeadh ciorcaid iomlánaithe beaga agus meánmhéide, comhpháirteanna leathsheoltóra, feistí optoelectronic, feistí tonn fuaimiúla dromchla, ciorcaid scannáin thanaí, agus gléasanna leictreonacha cumhachta.
Áiríonn an meaisín liteagrafaíochta dhá thaobh córas rialaithe gluaisne, córas próiseála íomhánna, bogearraí córais, agus aonad rialaithe próiseála sonraí I/O.
Litgrafaíocht ardchruinneas aontaobhach
Meaisín liteagrafaíocht ard-chruinneas forbartha do choláistí, ollscoileanna, fiontair agus institiúidí taighde éagsúla bunaithe ar shaintréithe úsáide meaisín liteagrafaíocht. Úsáidtear é le haghaidh taighde agus táirgeadh ciorcaid iomlánaithe beaga agus meánmhéide, comhpháirteanna leathsheoltóra, feistí optoelectronic, agus gairis tonnta fuaimiúla dromchla.
Tá sé comhdhéanta de chlár oibre ailínithe ardchruinneas, córas taispeána micreascópach CCD dé-réimse deighilte, ceann nochta, córas aeroibrithe, córas píblíne folúis, caidéal folúis saor ó ola atá nasctha go díreach, clár oibre frithchreathadh, agus bosca cúlpháirtí.
Réitigh saincheist an mhí-ailínithe de bharr an éagumais na plátaí a scaradh de bharr foshraitheanna neamhchiorclacha, blúirí, agus dromchlaí foshraitheanna míchothrom.
