Forbhreathnú táirge
Is córas brataithe uathfhótairéiseach spraeála é Trealamh Coater Sprae atá deartha le haghaidh sliseog a bhfuil patrúin domhain poll acu, céimeanna cóimheasa arda, agus foshraitheanna cruinne agus cearnacha.
Ag glacadh le teicneolaíocht spraeála photoresist atomization ultrasonaic, sroicheann an trealamh clúdach aonfhoirmeach photoresist ar dhromchlaí céim, imill, ballaí taobh agus bun struchtúir dhomhain. Is féidir an córas a chumrú le seomraí brataithe comhtháite agus le seomraí atá ag forbairt chun sciath nasctha a chomhlíonadh-sreafaí oibre a fhorbairt. Seachadann sé aonfhoirmeacht spraeála cothrom agus feidhmíocht clúdach céim den scoth le haghaidh feidhmeanna TSV poll domhain agus struchtúr cóimheasa arda. Tá roghanna seomra iolracha ar fáil chun freastal ar riachtanais na trialach taighde eolaíoch-rith agus-déantúsaíocht olltáirgeachta.
Buntáistí
Feidhmíocht Cumhdach Sármhaith le haghaidh Topagrafaíocht Choimpléasc
Cumasaíonn teicneolaíocht spraeála atomization ultrasonaic clúdach comhleanúnach photoresist ar bhallaí taoibh géara, íochtair poll domhain agus imill sliseog. Réitíonn sé droch-cheisteanna maidir le clúdach a bhíonn ag casadh traidisiúnta ar ghnéithe cóimheasa arda.
Táscairí Próisis Sármhaithe
Sroicheann aonfhoirmeacht spraeála cothrom-5%@5-10 μm, agus clúdach céim Níos mó ná nó cothrom le 30%. Tacaíonn cáilíocht sciath cobhsaí le próisis liteagrafaíocht agus eitseála ina dhiaidh sin.
Leathnú Solúbtha Seomra
Tacaíonn sé le 2-4 sheomra le modúil roghnacha Coater (COT) agus Forbróir (DEV). Simplíonn cumraíocht chomhtháite a fhorbraíonn sciath sreabhadh próisis do riachtanais táirgthe éagsúla.
Saincheapadh Modúlach do Chásanna Éagsúla
Cumraíocht dhlúth le haghaidh T&F saotharlainne agus tástáil phíolótach; socrú ilseomra leathnaithe le haghaidh olltáirgeadh tréchur ard.
Feidhmchláir
-
Ardphacáistiú (Próiseas TSV Deep Hole)
-
Gléasanna MEMS
-
Feistí Leathsheoltóra Cumhachta
-
Ciorcaid Chomhtháite RF
-
Optaic Leathsheoltóra
-
Comhpháirteanna Cumarsáide Optúla
-
Saotharlanna na hOllscoile agus na hInstitiúide Taighde
Paraiméadair
|
Mír |
Sonraíocht |
|
Múnla |
Sraith ASP |
|
Feidhm Próisis |
Cumhdach spraeála Photoresist; feidhm forbartha roghnach (modúl COT / DEV) |
|
Foshraitheanna Tacaithe |
Foshraitheanna le patrún Si, Gloine, cruinn agus cearnach |
|
Cumraíocht Seomra |
2-4 sheomra (COT, DEV roghnach) |
|
Sprae cothrom-Uniformity |
5% @5-10 μm |
|
Clúdach Céim |
Níos mó ná nó cothrom le 30% |
|
Príomhtheicneolaíocht |
Ultrasonach atomization photoresist spraeáil |
|
Mód Próiseála |
Cumhdach spraeála uathoibríoch |
|
Toise Foriomlán |
2665 × 2825 × 2550 mm (W×D×H) |
CCanna
C: Cad é an buntáiste lárnach a bhaineann le cóta spraeála i gcomparáid le cótaí casadh traidisiúnta?
A: Oireann an bratóir casadh go príomha do dhromchlaí cothroma wafer. Tá feidhm ag an bratóir spraeála photoresist atomized ultrasonaic, a bhaint amach clúdach éifeachtach ar phoill domhain, sidewalls agus céimeanna cóimheas gné ard. Tá sé oiriúnach le haghaidh feistí TSV agus MEMS le topagrafaíocht dromchla casta.
C: An féidir leis an meaisín seo an sciath agus an fhorbairt araon a chomhlánú in aonad amháin?
A: Tá. Tacaíonn an córas le seomraí roghnacha COT (sciath) agus DEV (forbairt). Is féidir le custaiméirí cótaóir spraeála neamhspleách nó cumraíocht forbróir cótaí comhcheangailte a roghnú de réir sreabhadh an phróisis.
C: An dtacaíonn sé le foshraitheanna cearnacha seachas sliseog bhabhta?
A: Tá. Tá an mheicníocht sciath spraeála comhoiriúnach leis an dá sliseog bhabhta agus foshraitheanna cearnacha ar nós píosaí gloine, nach féidir a phróiseáil go maith le sciath casadh. Tabhair toise an tsubstráit le haghaidh measúnú oidis.
C: Cén fheidhmíocht clúdach céim ar féidir liom a bheith ag súil leis?
A: Faoi oidis optamaithe, clúdach céim Níos mó ná nó cothrom le 30%. Tá torthaí an domhain réadúil faoi réir doimhneacht gné iarbhír, cóimheas gné agus cineál photoresist. Cuirimid tacaíocht thiúnta próisis ar fáil.
C: An bhfuil cumraíocht saotharlainne baisc bheaga ar fáil?
A: Tá. Is féidir cainníocht an tSeomra a chumrú ó 2 4 sheomra. Tá leaganacha dlútha oiriúnach do thriail T&F, agus feidhmíonn socrú ilsheomra do línte olltáirgthe.
C: Cad iad na cineálacha photoresist atá ag luí leis an coater spraeála ASP?
A: Déanann sé oiriúnú don chuid is mó de fhótaiteoirí leathsheoltóra caighdeánach. Roinn do mhúnla photoresist agus slaodacht le do thoil le haghaidh fíorú féidearthachta roimh chur i bhfeidhm an tionscadail.
Clibeanna Te: trealamh brataithe spraeála, monaróirí trealamh brataithe spraeála tSín, soláthraithe
