Forbhreathnú táirge
Is éard atá i SCD 12 ná 12-orlach casadh uathoibríoch-trealamh clúdaigh agus rian forbróra don phróiseas liteagrafaíocht leathsheoltóra. Deartha do dhéantúsaíocht wafer 300 mm, glactar leis dearadh modúlach ailtireachta, ag tacú le cumraíocht seomra solúbtha. Féadann sé nasc inlíne le huirlisí nochta liteagrafaíochta a bhaint amach, ag clúdach cásanna olltáirgeadh agus T&F le haghaidh ciorcaid chomhtháite, ardphacáistithe, feistí cumhachta agus réimsí eile.
Tá sé in ann sliseog ultra-tanaí agus warped a phróiseáil, tacaíonn sé le lascadh démhéide gan athsholáthar páirte, agus tá sé ag luí go hiomlán le próisis liteagrafaíochta leathsheoltóra príomhshrutha.
Buntáistí
Acmhainn ard & lorg dlúth Próiseas modúlach-dearadh aonaid, tréchur ard, sábhálann sé spás luachmhar glan-seomra. Is féidir seomraí próisis a chumrú go solúbtha de réir riachtanais an chustaiméara.
Cumas próiseála sliseog láidir Tacaíonn sé le haistriú & próiseáil chobhsaí le haghaidh sliseog ultra-tanaí agus warped le warpage faoi 5 mm, ag réiteach deacrachtaí do mhonarú foshraitheanna speisialta.
Comhoiriúnacht démhéide gan athsholáthar crua-earraí Athraigh idir méideanna éagsúla wafer gan athsholáthar páirteanna meicniúil, giorrú an t-am athraithe agus laghdaigh costas oibríochta.
Inlíne-réidh le haghaidh uirlisí liteagrafaíocht Tacaíonn modúil Chomhéadain Roghnach in-Chun dul i líne le meaisíní nochta liteagrafaíochta príomhshrutha, ag réadú sreabhadh oibre litho rian go hiomlán uathoibríoch.
Roghanna modúil saibhre feidhmiúla Tacaíonn -pláta te ardchruinneas, ailíniú optúil, nochtadh chiumhais wafer WEE agus comhpháirteanna roghnacha eile chun freastal ar riachtanais phróisis éagsúlaithe.
Paraiméadair
|
Mír |
Sonraíocht |
|
Múnla |
SCD 12 12-orlach Spin Coater & Forbróir |
|
Méid Wafer |
12-orlach (300 mm), comhoiriúnach dé-mhéid gan athsholáthar páirte |
|
Ábhar Foshraith |
Si, Gloine |
|
Cumraíochtaí Seomra |
2C2D / 4C / 4D / 4C4D (inoiriúnaithe) |
|
Próiseas Litagrafaíochta Tacaithe |
i-líne, KrF, ArF, PI, SOG, SOC |
|
Líneáil Litagrafaíocht Infheidhme |
Níos mó ná nó cothrom le 90 nm |
|
Tréchur uasta |
110 WPH (ag brath ar oideas & cumraíocht) |
|
Comhoiriúnacht Wafer Warped |
Tacaigh le warpage Níos lú ná nó cothrom le 5 mm ultra-tarchur & próiseáil wafer tanaí / warped |
|
Toise (W × D × H) |
4970 × 1973 × 2460 mm |
|
Feidhm Inlíne |
Modúl Comhéadain Roghnach chun nascadh le meaisín liteagrafaíocht |
|
Aonaid Roghnacha |
-pláta te ardchruinneas, ailíniú optúil, modúl nochta chiumhais sliseog WEE |
|
Mód Rialaithe |
Rialú áitiúil / rialú uathoibrithe mhonarcha iargúlta |
|
Deimhniú |
Comhlíontach le SEMI S2 |
Ceisteanna Coitianta
CCanna
C: Cad iad na foshraitheanna agus méideanna wafer a thacaíonn SCD 12?
A: Go príomha le haghaidh sliseog 12 orlach (300 mm), ag tacú le foshraitheanna Si agus Gloine. Tacaíonn sé le lascadh démhéide gan páirteanna breise a athsholáthar, agus féadann sé sliseog warped/ultra-tanaí a phróiseáil le warpage Níos lú ná nó cothrom le 5 mm.
C: Cad iad na próisis liteagrafaíochta is féidir leis an meaisín seo a reáchtáil?
A: Tacaíonn sé le próisis i líne, KrF, ArF, PI, SOG, SOC, atá oiriúnach do leithead líne liteagrafaíocht Níos mó ná nó cothrom le 90 nm.
C: An féidir le SCD 12 nascadh le scanóir liteagrafaíocht / stepper?
A: Tá. Roghnaigh an modúl Comhéadain roghnach chun Á inlíne a bhaint amach le meaisíní nochta liteagrafaíochta príomhshrutha.
C: Cad iad na cumraíochtaí seomra atá ar fáil le roghnú?
A: Cumraíochtaí atá ar fáil: 2C2D / 4C / 4D / 4C4D. Is féidir le custaiméirí aonaid roghnacha a chur leis lena n-áirítear pláta te ard-chruinneas, ailíniú optúil, WEE, modúl inlíne Comhéadain bunaithe ar riachtanais an phróisis.
C: Cad é an tréchur iarbhír?
A: Is é 110 WPH an tréchur uasta. Athraíonn tréchur an fhíorshaoil de réir chumraíocht an tseomra agus an t-oideas táirgthe.
C: An bhfuil SCD 12 oiriúnach do olltáirgeadh agus do T&F saotharlainne?
A: Tá. Is féidir le cumraíocht mhodúil sholúbtha freastal ar éilimh mhóra olltáirgeadh mais, agus oiriúnú freisin d'obair T&F baisc bheaga in institiúidí taighde.
Clibeanna Te: Casadh-chóta agus forbróir 12-orlach, déantóirí casadh agus forbróir tSín 12-orlach, soláthraithe
