Íosmhéid gné
Toise Chriticiúil Íosta (CD):
Is é an méid íosta gné, ar a dtugtar freisin an méid leath pháirc, ar cheann de na paraiméadair is tábhachtaí chun feidhmíocht meaisíní liteagrafaíocht a thomhas.
Ina measc, tá tairiseach a athraíonn i scéimeanna liteagrafaíocht éagsúla, áit a bhfuil λ tonnfhad na foinse solais ionchuir agus NA ar oscailt uimhriúil an chórais optúla meaisín liteagrafaíocht. Maidir le tairisigh, is féidir le meaisín liteagrafaíocht DUV ASML san Ísiltír uasmhéid de thart ar 0.25 a bhaint amach, agus tá EUV fós thart ar 0.35. Dá lú tonnfhad na foinse solais ionchuir, is lú an próiseas fótailiteagrafaíocht iarbhír is féidir a dhéanamh. Maidir le Cró uimhriúil NA, is é 1.0 uasteorainn an luacha seo go ginearálta do scéimeanna DUV neamh-fhliuchacha agus timpeall 1.35 do scéimeanna DUV fliuchtaithe. I gcomparáid le liteagrafaíocht neamh-thumoideachais, úsáideann meaisíní liteagrafaíocht tumoideachais leacht breise le haghaidh athraonta le linn liteagrafaíocht, de ghnáth uisce íon le hinnéacs athraonta de thart ar 1.33. Is é seo an chúis freisin go bhfuil NA níos mó ag meaisíní liteagrafaíocht tumoideachais.
Cruinneas greanta
Cruinneas forleagan: An cruinneas ailínithe idir na patrúin masc agus wafer.
Tagraíonn an bhrí bhunúsach do chruinneas ailíniú na bpatrún idir an dá phróiseas photolithography. Má tá an diall ailíniú ró-mhór, beidh tionchar díreach aige ar thoradh an táirge.
Caoinfhulaingt nochta
Domhanleithead Nochta: Tá domhanleithead nochta, ar a dtugtar corrlach nochta freisin, ar cheann de pharaiméadair thábhachtacha fhuinneog an phróisis. Is féidir le córais optúla nochta raon fuinnimh nochta a chomhlíonfaidh riachtanais leagan amach an dearaidh a fhoirmiú. Déantar é a shainiú de ghnáth ag an raon roghnúcháin fuinnimh nochta laistigh de ± 10% den athrú ar luach CD a bhraitheann toradh an nochta. Mura n-athraíonn leithead líne an phhatrún nochta ach beagán nuair a imíonn an photoresist ón dáileog nochta is fearr, léiríonn sé go bhfuil lamháltas nochta mór ag an bhfótaresist. Is mó an lamháltas nochta, is mó an lamháltas forbartha.
Tá dlúthbhaint idir caoinfhulaingt nochta agus codarsnacht íomhá teilgean. Má tá codarsnacht droch-íomhá ag méid gné na híomhá réamh-mheasta, beidh sé ró-íogair d'athruithe dáileog
