Ag clúdach dromchla substráit cosúil le wafer sileacain le photoresist an-fhóta-íogair, agus ansin dromchla an tsubstráit a ionradaíocht le solas ar leith (de ghnáth solas ultraivialait, solas ultraivialait domhain, solas ultraivialait mhór) trí masc ina bhfuil faisnéis patrún sprioc, imoibríonn an photoresist ionradaithe ag an solas. Dá bhrí sin, beidh an limistéar ionradaithe tar éis forbartha a tháirgeadh éifeachtaí éagsúla ón limistéar nach bhfuil ionradaithe (ag brath ar airíonna an photoresist).
