Is réiteach próiseála teirmeach speisialaithe é ár bhfeadán foirnéise ingearach a tógadh le haghaidh táirgeadh leathsheoltóra cumaisc agus optoelectronic. Déantar é a innealtóireacht chun timpeallachtaí teirmeacha comhsheasmhacha in-athdhéanta a sholáthar do phróisis chriticiúla sliseog, a chomhcheanglaíonn dearadh láidir meicniúil le teocht beacht agus rialú gáis chun tacú le déantúsaíocht ard-toirte le fuinneoga próiseas daingean.

Feidhmíocht cobhsaí, iontaofa: Tá an córas deartha le haghaidh oibríocht fhadtéarmach, íseal{-, le haonfhoirmeacht theirmeach chomhsheasmhach agus in-atrialltacht próisis a chuidíonn le táirgeacht ard a choinneáil thar rití táirgeachta.

Coimircí sábháilteachta láidre: Déanann córas comhghlasála sábháilteachta cisealta monatóireacht leanúnach ar theocht, brú agus coinníollacha gáis, ag freagairt go huathoibríoch d'aimhrialtachtaí chun oibreoirí, sliseoga agus trealamh a chosaint.

Iomasach, oibriú éifeachtach: Déantar an comhéadan agus an sreabhadh oibre a shruthlíniú chun am oiliúna agus earráid dhaonna a laghdú, agus feabhsaíonn timthriallta luchtaithe agus próisis uasmhéadú tréchur iomlán agus éascaíocht cothabhála.

Clúdach próiseas solúbtha: Ag luí le sliseog 6-orlach agus 8-orlach, a bhfuil suas le 150 píosa in aghaidh an reáchtáil, agus ag feidhmiú ó 400 céim go 1250 céim, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach do raon leathan céimeanna teirmeacha i ndéantúsaíocht gléas nua-aimseartha.

Tacaíonn an feadán foirnéise ingearach seo le raon iomlán próiseas teirmeach a úsáidtear i ndéantúsaíocht leathsheoltóra agus optoelectronic:

Ocsaídiú: sraitheanna tréleictreach ardchaighdeáin a chruthú ar dhromchlaí sliseog

Annealing: strus a mhaolú, lochtanna a dheisiú, agus airíonna leictreacha ábhair a thiúnadh

Cóimhiotalú: comhdhéanamh agus feidhmíocht chóimhiotail tanaí scannáin a choigeartú

Curing PI: trasnascadh polaiméire agus cobhsú do shraitheanna polaimíde

Taispeántas scannán tanaí-: Poly, TEOS, SiN, HTO, agus príomhphróisis eile fáis scannán

C: 1. Cad é feadán foirnéise ingearach?

A: Tá feadán foirnéise ingearach ard-trealamh próiseála teirmeach do mhonarú leathsheoltóra agus optoelectronic, a úsáidtear le haghaidh ocsaídiúcháin, annealing, chóimhiotail, leigheas PI, agus sil-scannán tanaí.

C: 2. Cad iad na próisis a úsáidtear an feadán foirnéise ingearach?

A: Tacaíonn sé le ocsaídiú, annealing, alloying, PI curing, Poly, TEOS, SiN, HTO, agus próisis eile fáis scannán tanaí.

C: 3. Cad iad na méideanna wafer agus an raon teochta a thacaíonn sé?

A: Tacaíonn sé le sliseog 6 orlach agus 8 orlach (suas le 150 píosa in aghaidh an bhaisc) le raon teochta próisis 400 céim -1250 céim.

C: 4. Cad iad na príomhbhuntáistí a bhaineann leis an bhfeadán foirnéise ingearach seo?

A: Ard-iontaofacht agus cobhsaíocht, córas comhghlasála iomlán sábháilteachta, oibriú cairdiúil don úsáideoir, ardéifeachtúlacht, agus aonfhoirmeacht próisis den scoth.

C: 5. An bhfuil sé éasca a oibriú agus a chothabháil?

A: Tá, tá comhéadan simplí aige, sreabhadh oibre sruthlínithe, agus riachtanais chothabhála íseal.

C: 6. An féidir é a shaincheapadh le haghaidh próisis shonracha?

A: Sea, cuirimid saincheaptha le haghaidh teochta, córais gháis, oidis phróisis, agus modhanna luchtaithe chun freastal ar riachtanais speisialta.

Clibeanna Te: foirnéise próiseála teirmeach ingearach, monaróirí foirnéise próiseála teirmeach ingearach tSín, soláthraithe