Forbhreathnú táirge
Díríonn foirnéisí teirmeacha feadáin ingearacha agus cothrománacha ár gcuideachta ar rialú teocht ard-beachtais- láimhseálann siad gach príomhchóireáil teasa leathsheoltóra, amhail ocsaídiú, idirleathadh agus anáil-cibé an bhfuil sé le haghaidh olltáirgeadh nó T&F saotharlainne. Tagann na fíordhifríochtaí eatarthu síos ar struchtúr agus ar an gcaoi a n-oireann siad d’úsáidí sonracha:
Foirnéise teirmeach feadán ingearach
Sábhálann Foirnéise Tube Ingearach spás, luíonn sé níos lú ná nó cothrom le sliseog 8-orlach (rogha tionsclaíochta 12-orlach ar fáil). Sonraíochtaí tábhachtacha: 850mm max crios teocht tairiseach, cruinneas rialaithe ±0.5 céim.
Múnla tionsclaíoch: Méadaíonn sé olltáirgeadh IC/IGBT trí phróiseáil bhaisc gan stad. Múnla taighde: Freastalaíonn ar SiC/meán sliseanna chandamach-riachtanais ísealteochta le haghaidh fíorú baisceanna beaga.
Foirnéise teirmeach feadán cothrománach
Dearadh Foirnéise Feadáin Cothrománach, config feadán solúbtha 1-4; Crios teochta tairiseach saincheaptha 300-1000mm, raon 400 céim -1200 céim.
Samhail thionsclaíoch: Comhtháthú ilphróisis le haghaidh dópála sliseog/foirmiú struchtúrach. Samhail taighde: Déanann sé teagasc & forbairt a chumasc, atá oiriúnach do thurgnaimh bheaga ollscoile.
Úsáideann an dá cheann seomra glan agus rialú teochta cobhsaí, a chlúdaíonn riachtanais teirmeach leathsheoltóra ó T&F go olltáirgeadh.
Feidhmchláir
- I gcás ollscoileanna/institiúidí taighde: Tacaíonn sé le-taiscí beaga-bhaisc de SiC, sceallóga chandamach, srl., ag cuidiú le fíorú próisis ábhair nua agus le tástáil feidhmíochta.
- Micrea-phróiseáil nana: Láimhseálann sí idirleathadh, ocsaídiú, anáil, feidhmíonn LPCVD-mar ardán solúbtha le haghaidh taighde ar ghléas optoelectronic/fótónach.
- T&F maidir le gléas optúil: Feistíonn sé treo-treoir optúil comhtháite/treoraithe ardluais-forbairt gléis fhótóinic; ag teacht le riachtanais chóireála teasa LiNbO₃ i malartú prótóin.
- Teagasc ollscoile: Cabhraíonn sé le teagasc turgnamhach/forbairt próisis, ag cuidiú le máistir-threalamh teirmeach leathsheoltóra agus ag nascadh teoiric le hinnealtóireacht.
Buntáistí
Rialú teocht ard-beachtais:
cruinneas ±0.5 céim; fiú ag 1100 céim , fanann - chobhsaíocht aon phointe ±0.5 céim ar feadh 24 uair an chloig, ag cinntiú atrialltacht sonraí iontaofa.
Comhoiriúnacht ilphróisis:
Tacaíonn foirnéisí ingearacha le idirleathadh/ocsaídiú; cuireann cinn chothrománach anáil & LPCVD leis. Tá an dá oiriúnach T&F sliseanna SiC/chandamach.
Déan taighde-inoiriúnaitheacht chairdiúil:
Oibríonn sé le níos lú ná nó cothrom le sliseog 8{{{}}orlach (1-4 feadáin roghnach). Laghdaíonn dearadh aon-feadán baisceanna beaga costais; tacaíonn sé le ritheanna fada leanúnacha le haghaidh turgnaimh.
Paraiméadair
|
Mír |
Foirnéise Feadáin Ingearach |
Foirnéise Feadáin Cothrománach |
|
Raon Teochta |
200 céim -600 céim , 600 céim -1200 céim (dhá raon roghnach) |
200 céim -600 céim , 600 céim -1200 céim (dhá raon roghnach) |
|
Cruinneas Rialaithe Teochta |
Níos lú ná nó cothrom le ±0.5 céim |
Níos lú ná nó cothrom le ±0.5 céim |
|
Aonfhoirmeacht Teocht |
- |
Níos lú ná nó cothrom le ±1 céim |
|
Cobhsaíocht Teochta-phointe amháin |
Níos lú ná nó cothrom le ±0.5 céim @1100 céim ar feadh 24 uair an chloig as a chéile |
Níos lú ná nó cothrom le ±0.5 céim @1100 céim ar feadh 24 uair an chloig as a chéile |
|
Uasráta Téimh |
10 gcéim / nóim |
10 gcéim / nóim |
|
Fad Crios Teochta Tairiseach |
200-500mm |
200-500mm |
CCanna
Cad iad na méideanna wafer a láimhseálann foirnéis teirmeach an fheadáin?
Tacaíonn an dá mhúnla ingearach agus cothrománach le sliseog suas le 8 n-orlach.
Cad iad na próisis lárnacha is féidir leo a dhéanamh?
Foirnéise Feadáin Ingearach: Clúdaíonn sé idirleathadh, ocsaídiú agus annealing.
Foirnéise Feadáin Cothrománach: Cuireann comhtháthú LPCVD leis na bunghnéithe sin.
An féidir líon na feadáin phróisis a shaincheapadh?
Cinnte-is féidir leat idir 1 agus 4 fheadán a phiocadh in aghaidh an aonaid, bunaithe ar do chuid riachtanas.
Cé chomh beacht atá an rialú teochta?
Fanann cruinneas rialaithe teochta laistigh de ± 0.5 céim. Fiú ag 1100 céim, coinníonn pointe amháin cobhsaíocht laistigh de ± 0.5 céim ar feadh 24 uair an chloig díreach. I gcás foirnéisí cothrománacha, tá aonfhoirmeacht teocht laistigh de ± 1 céim freisin.
Cad mar gheall ar ráta téimh agus raon teochta?
Buaileann an ráta téimh uasta 10 gcéim / nóim, agus tá dhá raon teochta ar fáil: 200-600 céim agus 600-1200 céim.
An bhfuil fad an chrios teocht tairiseach inchoigeartaithe?
Tá sé idir 200-500mm de réir réamhshocraithe, agus tacaítear le saincheaptha.
Cé acu is fearr do shaotharlanna taighde ollscoile?
Téigh go hingearach má tá próisis bhunúsacha uait-sábhálann sé spás agus tá sé éifeachtach ó thaobh costais. Roghnaigh cothrománach má tá LPCVD, tacaíocht teagaisc, nó obair saotharlainne agus olltáirgeadh ag teastáil uait.
An féidir leis turgnaimh fhada a rith? An bhfuil cothabháil costasach?
Tacaíonn sé le hoibríocht fhadtéarmach gan stad. Is annamh a dhéantar cothabháil, mar sin fanann costais inbhainistithe.
An bhfuil sé oiriúnach do tháirgeadh píolótach nó do bhaisc-tháirgeadh beag?
Is féidir-athraíonn an dá mhúnla go réidh idir T&F agus baisc-tháirgeadh beag.
Clibeanna Te: foirnéise teirmeach feadán, monaróirí foirnéise teirmeach feadán tSín, soláthraithe
