Forbhreathnú táirge

An Trealamh RTP Deisce Inoiriúnaithe do sliseog beagmhéide, tá dearadh dlúth agus socrúchán solúbtha ag an trealamh. Clúdaíonn rialú teochta teocht an tseomra go 800 céim (teirmeachúpla) agus 500 céim go 1200 céim (piriméadar infridhearg), le ráta téimh uasta de 150 céim / s (wafer amháin). Tá aonfhoirmeacht teochta Níos lú ná nó cothrom le ± 3 céim (Níos lú ná nó cothrom le 600 céim) / Níos lú ná nó cothrom le ± 0.5% (＞600 céim ), agus tá atáirgtheacht ±1 céim, ag cinntiú rialú teochta beacht. Úsáideann sé modhanna luchtaithe/díluchtaithe láimhe agus oscailt/dúnadh doirse, tá dordánaí agus soilse rabhaidh feistithe air, agus tacaíonn sé le rialú PC. Is féidir le Trealamh RTP Deisce na bunriachtanais phróiseála teirmeach tapa a chomhlíonadh, amhail anáil ionchlannú ian agus fás ocsaíde i T&F saotharlainne agus cásanna táirgthe bhaisc bheaga.

Buntáistí

Fíor-inoiriúnaithe don spás: Ceadaíonn dearadh dlúth socrúchán solúbtha, a éilíonn spás íosta agus oiriúnach do shaotharlanna nó do thimpeallachtaí táirgthe i mbaisceanna beaga le spás teoranta.

Rialú teochta beacht agus cobhsaí: Sroicheann aonfhoirmeacht teochta Níos lú ná nó cothrom le ± 3 céim (Níos lú ná nó cothrom le 600 céim) / Níos lú ná nó cothrom le ± 0.5% (＞600 céim), a chomhlíonann ceanglais chruinneas teochta na bpróiseas bunúsach.

Oibriú sábháilte agus iomasach: Feistithe le dordánaí agus soilse rabhaidh, léiríonn sé go pras stádas trealaimh, ag laghdú rioscaí oibriúcháin. Tugtar tacaíocht do rialú PC, agus tá coigeartú paraiméadar áisiúil.

Inoiriúnaitheacht mhaith do phróisis bhunúsacha: Tacaíonn sé le brú íosta de 30mTorr agus cion ocsaigine de<3ppm. With 4-channel maximum MFC, it meets basic vacuum and atmosphere requirements, adapting to various simple and rapid heat treatment scenarios.

Feidhmchláir

Annealing Ionchlannú

Fás Simplí Ocsaíd/Nítríde

Réamhchóireáil Cóimhiotal Silicíde

Alloying Teagmhála Ohmic Réamh

Sampla Beaga Eile Cóireála Teasa

Paraiméadair

Múnla	RTP-100
Méid Wafer	6 orlach agus thíos
Méid	910mm×860mm×695mm(W×D×H)
Raon Teochta	RT~~800 céim (Rialaithe ag teirmeachóip) 500 céim ~ 1200 céim (Rialaithe ag piriméadar)
Ráta Téimh Uasta	150 céim /s--- Wafer amháin Iompróir 20 céim / s--- SiC 30 céim / s --- Bratú iompróra grafite SiC
aonfhoirmeacht teochta	Níos lú ná nó cothrom le ±3 céim @ Níos lú ná nó cothrom le 600 céim Níos lú ná nó cothrom le ±0.5% @ ＞600 céim
Atrialltacht Teocht	±1 céim
Líon Lampaí/SCR	29 ea / 10 sraith
MFC uasta	4
Brú is Ísle	30mTor
Ráta Sceite	10mTorr/nóim
O₂Céatadán	＜3 ppm
Cumhacht uasta/ Meán Fómhair	60/ 36 Kw
Voltas	380V/ 60HZ/ 3 sreang Chéim 5
Modh Rialaithe	Rialú ríomhaire

CCanna

Fuaimeann an dordánaí agus soilsíonn an solas rabhaidh tar éis tosaithe?

Ar dtús, brúigh "ATHShocraigh" chun an t-aláram a stopadh. Seiceáil an bhfuil doras na cuas dúnta go docht agus an bhfuil glas an dorais slán. Má leanann an fhadhb, seiceáil an sreangú braite glas doras.

Cad iad na réamhchúraimí ba chóir a ghlacadh agus sliseog á luchtú agus á ndíluchtú de láimh?

Caith lámhainní glana chun éilliú a chosc. Déan an wafer a láimhseáil go réidh chun imbhuailtí a sheachaint agus cinntigh go bhfuil sé dírithe ar an iompróir.

Conas a aistrím idir rialú teochta teirmeachúpla/piriméadar infridhearg?

Switch the "Temperature Control Mode" in the PC software: Use thermocouple for ≤800℃, manually switch to infrared for >800 céim . Déanfaidh an córas a chalabrú go huathoibríoch tar éis athrú.

Nach bhfuil an ráta téimh 150 céim / s (wafer amháin)?

Deimhnigh nach bhfuil aon iompróir ann (cuirfidh iompróirí SiC/graifít teorainn leis an ráta); seiceáil an bhfuil gach lampa ag feidhmiú i gceart. Éilíonn comhpháirteanna lochtacha seirbhís iar-díola.

Sáraíonn aonfhoirmeacht teochta ±3 céim (Níos lú ná nó cothrom le 600 céim )?

Deimhnigh sliseog Níos lú ná nó cothrom le 6 orlach; seiceáil cumhacht lampa i mbogearraí, más rud neamhghnách é, treoir innealtóra maidir le mionchoigeartú; glan an seomra Grianchloch go rialta agus ansin calabraigh.

Ocsaídiú dromchla wafer?

Seiceáil an bhfuil an fholús níos lú ná nó cothrom le 30 mTorr (mura leor, seiceáil le haghaidh sceitheanna agus cuir ola caidéil folúis in ionad); deimhnigh an cion O₂ < 3 ppm (más mó é, cuir an sorcóir gáis in ionad / seiceáil an bhfuil sceitheadh píblíne).

Príomhphointí cothabhála laethúil?

Glan an seomra Grianchloch le halcól go seachtainiúil, seiceáil an tionól lampa gach 3 mhí (athsholáthair tar éis 1000 uair an chloig), seiceáil an fáinne séalaithe le haghaidh dul in aois go míosúil, cinntigh nach mó ná 70 céim an fhuaraithe uisce.

An Trealamh RTP Deisce aláram brú íseal?

A: Dún an próiseas, seiceáil an píblíne bhfolús, déan an caidéal a atosú; má tá sé neamhghnách fós, seiceáil an ráta sceite (má tá sé níos mó ná 10 mTorr/nóiméad, aimsigh agus deisigh an sceitheadh).

Ní féidir le PC paraiméadair a léamh?

Seiceáil an cábla cumarsáide idir an trealamh agus an ríomhaire, atosú agus bain triail eile as; mura bhfuil aon sonraí fós ann, seiceáil an sreangú braiteora, nó déan teagmháil le iar-díolacháin chun an tiománaí bogearraí a sheiceáil.

Conas an trealamh a stopadh i gcás éigeandála?

Brúigh "Stop Éigeandála EMO" chun an fhoinse teasa a ghearradh amach agus an clúdach a oscailt; tar éis an locht a réiteach, brúigh "ATHShocraigh" chun athshocrú agus atosú.