Forbhreathnú táirge
Is trealamh ard-chruinneas próiseála ábhar é ár gCóras Eitseála Líoma ian (IBE) atá deartha don tionscal déantúsaíochta micrea-nana. Úsáideann sé léas ian dírithe agus inrialaithe chun eitseáil fhisiceach a dhéanamh ar dhromchla ábhar scannán tanaí, rud a chumasaíonn eitseáil roghnaíoch nó próisis ardaitheoir-as le cruinneas ard.
Déantar an córas seo a innealtóireacht go gairmiúil chun raon leathan ábhar scannán tanaí a phróiseáil, lena n-áirítear Cu, Cr, Pt, Au, Ti, Ag, agus Al₂O₃ ach gan a bheith teoranta dóibh. Tacaíonn sé le méideanna caighdeánacha sliseog 6 orlach agus 8 n-orlach, rud a fhágann go bhfuil sé an-chomhoiriúnach le próisis déantúsaíochta príomhshrutha leathsheoltóra agus micrea-chórais mheicniúla (MEMS). Trí theicneolaíocht eitseála damáiste íseal a ghiaráil, cuireann sé réiteach iontach ar fáil chun gléasanna nana-nana-ardfheidhmíochta a ullmhú.
Buntáistí
Ard-Beachtais & Rialú Próisis
Tá an córas comhtháite le hardchóras braite críochphointe eitseála, a chumasaíonn monatóireacht fíor-ama agus rialú beacht ar an bpróiseas eitseála ar fad. Cinntíonn sé seo in-atrialltacht agus cruinneas den scoth, le haonfhoirmeacht eitseála níos lú ná nó cothrom le ±5% (laistigh de sliseog agus sliseog go-go-torthaí cáilíochta comhsheasmhacha thar na mbaisceanna táirgthe.
Comhoiriúnacht Próisis Superior
Sásaíonn sé il-uillinn,-teocht íseal (0 céim – 30 céim ), agus-riachtanais eitseála damáiste íseal. Tá an cumas seo ríthábhachtach chun ábhair íogair agus leochaileacha ó thaobh teochta a chosaint, damáiste don tsubstráit a íoslaghdú, agus chun airíonna intreacha na scannán tanaí a chaomhnú, rud a fheabhsóidh go mór táirgeacht agus feidhmíocht an fheiste.
Cumraíocht Sholúbtha & Inscálaithe
Chun freastal ar riachtanais éagsúla táirgeachta agus T&F, cuireann an córas ailtireacht braisle roghnach ar fáil. Ceadaíonn an dearadh modúlach seo do sheomraí próisis iolracha a chomhtháthú, ag éascú comhtháthú próisis gan uaim, déantúsaíocht ard-toirte, agus uathoibriú éifeachtach sreabhadh oibre, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach do thaighde saotharlainne agus olltáirgeadh tionsclaíoch.
Feidhmchláir
Is píosa trealaimh ríthábhachtach é an Córas Eitseála Lí Iain i réimse na hard-mhonaraíochta micrea-nana, le raon leathan feidhmchlár:
1. Déantúsaíocht Gléas Leathsheoltóra
Úsáidtear é chun leictreoidí miotail, idirnaisc, agus struchtúir gheataí i gciorcaid iomlánaithe (ICanna) a phatrúnáil go beacht, agus chun friotóirí agus toilleoirí scannáin tanaí a bhearradh agus a choigeartú.
2. Déantúsaíocht MEMS & NEMS
Tá ról ríthábhachtach aige maidir le micrea-bhraiteoirí, micrea-actuators, agus gléasanna MEMS/NEMS eile a dhéanamh, rud a chumasaíonn cruthú micreastruchtúir ardghné agus struchtúir ar fuaidreamh le cruinneas ard.
3. Táirgeadh Gléas Optoelectronic
Cuirtear i bhfeidhm é ar phróiseáil ábhar tanaí scannáin i léasair, i bhfótabhraiteoirí, agus i dtreoracha toinne optúla, rud a éascaíonn táirgeadh comhpháirteanna optoelectronic ardfheidhmíochta.
4. Pacáistiú Casta & Idirnasc
Úsáidtear é in ardteicneolaíochtaí pacáistithe le haghaidh eitseáil roghnaíoch na sraitheanna athdháilte (RDLanna) agus chun struchtúir ard-chruinneas bump a ullmhú.
CCanna
C: 1. Cad is Córas Eitseála Líoma ian (IBE) ann?
A: Is trealamh próiseála nana-mhicrea-bheachtais ard-chruinneas é Córas Eitseála Líoma ian (IBE) a úsáideann léas ian fócasaithe chun eitseáil fhisiciúil a dhéanamh ar ábhair tanaí scannáin. Úsáidtear é go príomha le haghaidh eitseáil roghnach agus stripping scannáin tanaí éagsúla, agus úsáidtear go forleathan é i leathsheoltóra, MEMS, optoelectronics agus réimsí eile.
C: 2. Cad iad na hábhair a bhfuil an Córas IBE oiriúnach dóibh?
A: Tá an Córas IBE seo oiriúnach le haghaidh eitseáil roghnach nó stripping ábhar tanaí scannáin, mar shampla Cu, Cr, Pt, Au, Ti, Ag, agus Al₂O₃, agus féadann sé freastal ar riachtanais phróiseála éagsúla scannáin tanaí miotail agus tréleictreach coitianta.
C: 3. Cad iad na méideanna wafer a thacaíonn an meaisín eitseála bhíoma ian?
A: Tacaíonn an meaisín eitseála bhíoma ian le dhá mhéid caighdeánach wafer: 6 orlach agus 8 n-orlach, atá ag luí le sonraíochtaí próiseála wafer príomhshrutha sa tionscal agus a chomhlíonann riachtanais T&F agus táirgeadh baisc bheaga-.
C: 4. Cad iad na buntáistí a bhaineann le teicneolaíocht eitseála bhíoma ian?
A: Tá buntáistí ag eitseáil bhíoma ian teocht íseal (0 céim ~ 30 céim), damáiste íseal, próiseáil il-uillinn, agus aonfhoirmeacht ard. Féadann sé strus teirmeach agus damáiste ábhartha a laghdú, agus cobhsaíocht agus comhsheasmhacht an phróisis eitseála a chinntiú.
C: 5. Cad é aonfhoirmeacht eitseála an Chórais IBE?
Sea, tá an meaisín eitseála bhíoma ian comhtháite le córas braite críochphointe eitseála ardleibhéil, ar féidir leis monatóireacht a dhéanamh ar an bpróiseas eitseála i bhfíor-am, rialú beacht a dhéanamh ar an bpróiseas eitseála, agus ró-eitseáil nó níos lú eitseála a sheachaint.
C: 6. An bhfuil feidhm bhrath críochphointe ag an meaisín eitseála bhíoma ian?
A: Tá, tá an meaisín eitseála bhíoma ian comhtháite le córas braite críochphointe eitseála ardleibhéil, ar féidir leis monatóireacht a dhéanamh ar an bpróiseas eitseála i bhfíor-am, rialú beacht a dhéanamh ar an bpróiseas eitseála, agus ró-eitseáil nó faoi eitseáil a sheachaint.
C: 7. An féidir an Córas IBE a chumrú le seomraí próisis iolracha?
A: Sea, tacaíonn Córas IBE le hailtireacht bhraisle roghnach, ar féidir a bheith feistithe le seomraí próiseas eitseála iolracha chun freastal ar riachtanais aistrithe próiseas solúbtha agus éifeachtacht táirgthe feabhsaithe.
Clibeanna Te: córas ibe, monaróirí córas ibe tSín, soláthraithe
